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降低高亮度LED成本的晶圓粘結(jié)及檢測(cè)

上傳人:未知

上傳時(shí)間: 2010-01-04

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  高亮度LED就可代替現(xiàn)在還在生產(chǎn)的白熾燈和各種熒光燈。高亮度LED的一個(gè)顯著優(yōu)點(diǎn)是其壽命是用數(shù)十年來衡量的。

  多種高亮度LED的光子向各個(gè)方向發(fā)射,包括向基板方向的下方。如果基板有比LED發(fā)光區(qū)小的帶隙,基板會(huì)吸收大約一半的反射光,這就大大減少了光的輸出。如果把一片含有發(fā)光二極管的晶圓粘結(jié)到一片具有高反射率表面的基板晶圓上,基板晶圓還有能散熱,射向基板的光將被反射回并穿過發(fā)射區(qū),這就大大提高了總光亮輸出。

  許多材料,如硅,砷化鎵,氮化鎵,磷化鎵,和藍(lán)寶石等,可用來制作LED.在復(fù)合半導(dǎo)體上生長(zhǎng)出光子層并轉(zhuǎn)移到硅或相似的材料的支撐晶圓上,并且晶圓的背面是暴露出來的?,F(xiàn)在復(fù)合半導(dǎo)體只有大到4英寸。這就限制了LED晶圓與晶圓的結(jié)合的大小只有2到4英寸的直徑。另外一個(gè)問題就是兩個(gè)需要粘結(jié)的晶原有不同的熱膨脹系數(shù)而導(dǎo)致粘結(jié)過程非常緩慢。因?yàn)槊看沃荒苷辰Y(jié)一對(duì)晶圓,這就限制了高亮度LED的生產(chǎn)率,單位成本也很高。這些限制可通過使用新開發(fā)的SUSS晶圓粘結(jié)裝置來突破,這個(gè)裝置可實(shí)現(xiàn)多對(duì)晶圓的同步粘結(jié)。

  以氮化鎵為原料的高亮度LED生產(chǎn)有兩種方法:即金-金熱壓和金錫共熔粘結(jié)。在金-金熱壓粘結(jié)過程中,一層1至3微米厚的金和阻隔粘結(jié)層被涂在每片晶圓上。為了消除表面污染影響固態(tài)擴(kuò)散機(jī)理,需進(jìn)行幾個(gè)步驟的清洗(紫外臭氧或化學(xué)濕處理)。粘結(jié)時(shí)的溫度是250°to400°,壓力是1至7MPa,時(shí)間從幾分鐘到幾小時(shí)。低溫時(shí)需增加時(shí)間和壓力。如果時(shí)間和壓力不夠,通常晶圓與晶圓間只有局部的結(jié)合。

  錫金共熔法是通過固體與液體的擴(kuò)散而形成金屬間化合的合金來達(dá)到粘結(jié)的。一晶圓涂了一層薄金,而另一晶圓涂了一層厚度可達(dá)5微米的金錫。必要時(shí)可涂擴(kuò)散阻隔層。為避免錫在高溫時(shí)氧化,晶圓粘合需在氣體中進(jìn)行,如在氮?dú)浠旌蠚猓?5%N2,5%H2)中。這種方法只需低壓和用比熔點(diǎn)稍高的溫度,可在幾分鐘內(nèi)完成粘結(jié)。

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